题目内容
(请给出正确答案)
[多选题]
设备更换晶圆后,必须双人核对晶圆数量及参考点位置,并在()上签字确认
A.流程卡
B.中测单
C.晶圆管制卡
D.map上芯数统计记录
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A.流程卡
B.中测单
C.晶圆管制卡
D.map上芯数统计记录
第7题
A.摆放整齐端正
B.确保卡物不分离且流程卡
C.晶圆管制卡必须装入塑料袋后方可放入
D.晶圆提篮的卡环必须卡上
E.注意氮气流量阀门是否打开
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